반도체 공정용 특수가스 전문 업체. 가스 합성 및 수전해 기술, 희귀가스를 추출 및 분리하는 기술, 특수가스를 정제ㆍ혼합ㆍ충전하는 기술을 비롯하여 특수가스 제조의 모든 공정을 내재화한 기술을 보유. 특수가스 생산에 필요한 Total 기술을 이용하여 반도체 공정에서 사용하는 특수가스 제조를 국산화하고 있으며, SK하이닉스의 정식 협력사임.
주요 제품으로는 희귀가스(Excimer Laser(Ne), Kr, Xe 등), 특수가스(C4F6, CO, COS, CHF3, C4F8 등) 등이 있음.
최대주주는 유원양 외(32.70%), 주요주주는 에스브이아이씨52호 신기술사업투자조합(8.30%)
Update : 2025.08.05 |
